입자 센서 클린 룸

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KR20020080130A - 반도체 클린 룸 모니터링용 무선 센서 시스템 - …

본 발명은 클린 룸(Clean Room) 모니터링용 무선 센서 시스템에 관한 것으로, 좀더 상세하게는, 클린 룸 모니터링을 위한 클린 룸의 상태 감지를 수행하여 그 수행 결과를 아날로그 전류 데이터로 출력하는 센서부와, 센서부로부터 출력된 아날로그 전류 데이터를 디지털 데이터로 변환하여 적외선 ...

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클린 룸 - Cleanroom - Wikipedia

A 클린 룸 또는 클린 룸 은 제약 품목, 집적 회로, CRT, LCD 및 기타 제품의 제조를 포함하여 전문 산업 생산 또는 과학 연구의 일부로 일반적으로 사용되는 시설입니다. OLED 및 microLED 디스플레이. 청정실은 먼지, 공기 중 유기체 또는 기화 된 입자와 같은 극도로 낮은 수준의 미립자를 유지하도록 ...

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